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洁净室级别划分标准及他们的应用
作者:    发布于:2014-06-23 11:31:10    文字:【】【】【
目前对洁净室等级划分最常用的是美国联邦FS 209E标准。常说的100级洁净室说的就是指在1立方英尺的空间内,大于等于0.5微米的粒子必须不多于100个,10级就是1立方英尺的空间,0.5微米的粒子必须不多于10个,1000级则不能多于1000个。

  一般来说,1级洁净室主要用于制造大规模集成电路的微电子工业;10级的洁净室主要用于带宽小于2微米的半导体行业;100级是最常用的洁净室,可用于医药中的无菌制造工艺、外科手术、人造内脏器官和集成电路生产;1000级主要用于光学产品和高质量微型轴承的生产,以及飞机陀螺仪的测试;10000级用于液压设备或气压设备的生产,有些情况下也用于食品饮料的生产;100000级用于很多工业部门生产部门,食品饮料和医药行业也常常使用这一级洁净室。

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